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0.5噸/小時(shí)超純水設備

  • 產(chǎn)品分類(lèi):超純水設備
  • 產(chǎn)品標簽:超純水設備 
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產(chǎn)品詳細介紹

超純水概念

超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當的超臨界精細技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水,其電阻率大于18MΩ·cm,或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物,當然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

工藝流程

(1)原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→自動(dòng)加藥阻垢裝置→保安過(guò)濾器→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過(guò)濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)  

(2)原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水箱→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過(guò)濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)  

特別說(shuō)明:

超純水在制備超純水后,要求輸送管道不能有析出物對超純水形成二次污染,否則將導致被清洗的芯片或電子設備受到污染而報廢。金屬管道不可避免有金屬離子析出,只有塑料管道較少(塑料材質(zhì)管道需要控制TOC析出)。此類(lèi)管道大多是安裝在純水車(chē)間的純水設備及純水車(chē)間到各用水車(chē)間點(diǎn)位上,連接方式也是粘接,需要clean-PVC專(zhuān)用膠水。在超純水系統中,一般終端管道采用clean-PVC。


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